真空泵(beng)包括水環泵(beng)、往複泵、滑閥(fá)泵、旋片泵、羅(luó)茨泵和擴散(sàn)泵等，在工藝(yì)過程中是不(bu)可少的主力(li)泵種。真空泵(bèng)是一種旋轉(zhuǎn)式變🛀🏻容，真空(kōng)泵須有前級(ji)泵配合方可(kě)使用在☎️較寬(kuan)的壓力範圍(wei)内，而且有較(jiào)大的抽速，對(duì)被抽除氣體(ti)中含有灰塵(chén)和水蒸🥰汽不(bu)敏感，實現持(chi)續穩定地發(fā)展。